工业通用型原子沉积镀膜设备

主要技术指标:
镀膜厚度亚纳米至10um,厚度控制精度±0.2nm
最大镀膜器件直径400mm,厚度100mm(可定制更大腔室)
最高镀膜温度700℃标准
设备提供七路源材料,包括4种气体源,三种液体源,可定制2路固体源扩展至9源
极适合微纳材料,单原子催化材料体系制备

主要优点:
精确的膜厚控制;
无需精确控制每次反应的反应物通量;
超级的薄膜均匀性及同质性; 
大面积沉积及批量生产能力;
致密、连续、均匀且无空洞缺陷的薄膜;
原子级的成分控制;
高的可重复性和简单直接的扩产工艺;


公司简介

成都雷竞技app官网雷竞技下载官方版科技有限公司成立于2011年,是一家集光机电算于一体的智能自动化设备提供商与方案解决商。公司重点研发智能雷竞技下载官方版检测设备、自动化装配设备及生产线、光学传感器等一系列智能制造核心元件及设备。 经过数年的发展,公司逐步形成了一支高效务实、精益求精的研发、销售及管理团队。公司现有员工22人,其中技术研发人员占公司人..

更多

联系我们

  • 成都市双流区西南交通大学研究院
  • 028-64004211
  • info@jycome.com
  • www.jycome.com